特許

J-GLOBAL ID：200903081059203067

検査装置およびこれを用いた露光装置やデバイス生産方法

発明者： 三浦 聖也 ,  河野 道生
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073336
公開番号（公開出願番号）：特開平8-272077
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 簡便にして高精度に検査面の表面状態を検査することができる検査装置を提供すること。【構成】 ペリク2ル付きレチクル1の検査面に光を照射する手段と、検査面から生じた光を受光するセンサ11bを含む光学系9bと、センサ11bからの信号に電気的な低帯域カットフィルタを施すフィルタ手段13と、を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

検査面に光を照射する手段と、検査面から生じた光を受光するセンサを含む光学系と、該センサからの信号に電気的な低帯域カットフィルタを施すフィルタ手段と、を有することを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 S ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/30 502 V