テーブルの位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-246968
公開番号（公開出願番号）：特開平8-086892
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は、レーザー光線を基準線として利用することで長いストロークでも誤差の生じない、常に安定した良好な精度が得られるテーブル100の位置決め装置を実現することを目的とする。【構成】一軸の位置決めの基準となる光学的な平行光線12aを発生する平行光線発生手段12を設け、平行光線発生手段12からの平行光線12aを受けて、2分岐して第1光検出器16と、第2光検出器17に供給するビームスプリッタ14と反射鏡15を設け、前記の2分岐光線を受けて、電気信号に変換する第1光検出器16と、第2光検出器17を設け、第1光検出器16と、第2光検出器17からの電気信号を受けて、真直度補正機構94とθ補正機構92とを駆動してヨーイング誤差111と真直度誤差113を補正する位置決め制御を行う位置決め制御部20を設ける構成手段。

請求項（抜粋）：

案内要素(86)と一軸駆動手段(84)と真直度補正機構(94)とθ補正機構(92)とを有して、テーブル(100)をX方向軸あるいはY方向軸の一軸方向に位置決めをする位置決め装置において、一軸の位置決めの基準となる光学的な平行光線(12a)を発生する平行光線発生手段(12)を設け、当該平行光線発生手段(12)からの平行光線(12a)を受けて、2分岐して第1光検出器(16)と、第2光検出器(17)に供給するビームスプリッタ(14)と反射鏡(15)を設け、前記の2分岐光線を受けて、この光線の受光位置を検出し、電気信号に変換する第1光検出器(16)と、第2光検出器(17)を設け、当該第1光検出器(16)と、第2光検出器(17)からの電気信号を受けて、真直度補正機構(94)とθ補正機構(92)とを駆動してヨーイング誤差(111)と真直度誤差(113)を補正する位置決め制御を行う位置決め制御部(20)を設け、以上を具備していることを特徴としたテーブルの位置決め装置。

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