特許
J-GLOBAL ID:200903081065996036

ポジ型感光性材料

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-205395
公開番号(公開出願番号):特開平7-056332
出願日: 1993年08月19日
公開日(公表日): 1995年03月03日
要約:
【要約】【目的】 現像時間が短く、網点再現性に優れ、かつ耐接着性の悪化が無いポジ型感光性材料を提供する。【構成】 支持体上に、少なくとも剥離層もしくは剥離層とバリアー層との積層物、及び色材含有感光層もしくは色材含有層と感光層との積層物が、順次積層されている感光性材料に於いて、該色剤含有感光層もしくは感光層が、キノンジアジド化合物、アルカリ可溶性ノボラック樹脂、及び該キノンジアジド化合物と相互作用をもつ官能基を少なくとも1つ有する化合物を含有するジ型感光性材料。
請求項(抜粋):
支持体上に、少なくとも剥離層もしくは剥離層とバリアー層との積層物、及び色材含有感光層もしくは色材含有層と感光層との積層物が、順次積層されている感光性材料に於いて、該色剤含有感光層もしくは感光層が、キノンジアジド化合物、アルカリ可溶性ノボラック樹脂、及び該キノンジアジド化合物と相互作用をもつ官能基を少なくとも1つ有する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性材料。
IPC (5件):
G03F 7/022 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/004 513 ,  H01L 21/027

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