特許

J-GLOBAL ID：200903081071239476

電子写真感光体及び光受容部材の製造方法

発明者： 瀬木 好雄 ,  白砂 寿康 ,  片桐 宏之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325410
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179536
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 電気的特性に優れ、かつ高品位の画像を得ることができる電子写真感光体の製造方法を提供する。【構成】 導電性支持体上に少なくともシリコン原子を母材とする非晶質材料からなる電荷注入阻止層と光導電層を有する電子写真感光体の製造方法において、前記光導電層作成時、初期からシリコン原子を供給し得るシリコン供給用の原料ガスを0.29sccm/sec以上、12sccm/sec以下、希釈ガスを2.2sccm以上、73sccm以下、放電電力を0.7W/sec以上、27w/sec以下、内圧を0.33mmTorr以上、13mmTorr以下で変化させることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも、シリコン原子を供給し得るシリコン供給用の原料ガスと希釈ガスを使用し、プラズマCVD法により、導電性支持体上に少なくともシリコン原子を母材とする非晶質材料からなる光導電層を有する電子写真感光体の製造方法において、前記光導電層作成時、初期から放電電力を0.7W/sec以上、27W/sec以下、内圧を0.33mm Torr/sec以上、13mm Torr以下、さらにシリコン原子を供給し得るシリコン供給用の原料ガスを0.29sccm/sec以上、12sccm/sec以下、希釈ガスを2.2sccm/sec以上、73sccm/sec以下で変化させることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。

IPC (7件)：

G03G 5/08 360 ,  G03G 5/08 301 ,  G03G 5/08 311 ,  G03G 5/08 331 ,  C23C 16/24 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205