特許

J-GLOBAL ID：200903081080024318

高速ガス制動微小機械構造体

発明者： デニス スタンレイ グレイウォール
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253900
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 約1MHzを超える周波数で動作する「スクイーズ型」の微小機械構造体において「クリーンな」方形波応答を達成する。【解決手段】 本発明による高速ガス制動微小機械構造体は、複数の孔14を有する可動部材15と、可動部材15を封入する気密シール33と、気密シール33内のガスとからなり、気密シール33内の環境圧力は大気圧より高い。具体的には、この構造体は約1.4という最小多孔度1/(ωoτ)と、約1.25という最小換算圧力(ガス周波数)ωg/ωoを有する。約10パーセント以下のリンギングでの高速動作には、ωg/ωo>1.25、および、0.25+0.7(ωg/ωo)2-0.8(ωg/ωo-1.25)≦1/(ωoτ)≦0.25+0.7(ωg/ωo)2+(ωg/ωo-1.25)を必要とする。

請求項（抜粋）：

約1メガヘルツ以上の速度で運動し複数の孔を有する可動部材と、前記可動部材を封入する気密シールと、前記気密シール内のガスとからなり、前記気密シール内の環境圧力が大気圧より高いことを特徴とする高速ガス制動微小機械構造体。