特許
J-GLOBAL ID：200903081086961364
メタルマスクとその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248972
公開番号（公開出願番号）：特開2000-071637
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：
【要約】【課題】 ペースト通過孔の穿孔工程とターゲットマーク用の凹部の形成工程とを簡略化することができ、これによりメタルマスクの製造を容易にすると共に、ペースト通過孔とターゲットマーク用の凹部とを正確な位置関係で形成することができ、位置精度の高いメタルマスクを製造する。【解決手段】 メタルマスクは、金属薄板からなるマスク基板11と、このマスク基板11に所定の印刷パターンに従って穿孔されたペースト通過孔12と、このペースト通過孔12に対して所定の位置関係でマスク基板11上に形成された印刷時の位置合わせ用のターゲットマーク16とを有する。前記ターゲットマーク16は、前記ペースト通過孔12に対して所定の位置関係でマスク基板11に穿孔された小孔13と、この小孔13を基準としてマスク基板11の表面上に形成された凹部15と、この凹部15及び前記小孔13とに充填され、マスク基板11の表面と光学的にコントラストを与える染料19とを有する。
請求項（抜粋）：
金属薄板からなるマスク基板(11)と、このマスク基板(11)に所定の印刷パターンに従って穿孔されたペースト通過孔12)と、このペースト通過孔(12)に対して所定の位置関係でマスク基板(11)上に形成された印刷時の位置合わせ用のターゲットマーク(16)とを有するメタルマスクにおいて、前記ターゲットマーク(16)は、前記ペースト通過孔(12)に対して所定の位置関係でマスク基板(11)に穿孔された小孔(13)と、この小孔(13)を基準としてマスク基板(11)の表面上に形成された凹部(15)と、この凹部(15)及び前記小孔(13)とに充填され、マスク基板(11)の表面と光学的にコントラストを与える染料(19)とを有することを特徴とするメタルマスク。
IPC (4件)：
B41N 1/24
, B41C 1/05
, B41F 15/34
, H05K 3/12 610
B41N 1/24
, B41C 1/05
, B41F 15/34
, H05K 3/12 610 P
2C035AA06
, 2C035FF22
, 2C035FF26
, 2H084AA14
, 2H084BB02
, 2H084BB13
, 2H084CC10
, 2H114AB11
, 2H114AB15
, 2H114BA05
, 2H114DA04
, 2H114EA01
, 2H114EA02
, 2H114GA11
, 5E343BB72
, 5E343FF12
, 5E343GG11
