被加工物用保持剤およびそれを用いた被加工物の脱着方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019189
公開番号（公開出願番号）：特開平9-208924
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】被加工物を研磨時には高精度にしかも安定的に研磨機定盤に粘着固定し、研磨機定盤から剥離する際には容易に剥離ならしめ、しかも従来の有機溶剤や界面活性剤による洗浄を必要としない被加工物用保持剤および該保持剤を用いた被加工物の脱着方法を提供すること。【解決手段】約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を持つポリマーを含有するポリマー組成物から成る被加工物用保持剤。ポリマー組成物には、側鎖結晶可能ポリマーが、前記ポリマー組成物を室温以下の温度ではほぼ非粘着性に、またそれより上の温度では粘着性にするのに十分な量だけ存在する。

請求項（抜粋）：

約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を持つポリマーを含有するポリマー組成物から成る被加工物用保持剤。

IPC (3件)：

C09J201/00 JAQ , B23Q 3/08 , B28D 7/04

FI (3件)：

C09J201/00 JAQ , B23Q 3/08 Z , B28D 7/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-129282
特表平4-507425
特開昭62-252945

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