特許

J-GLOBAL ID：200903081102756504

仕事関数測定法および仕事関数測定装置

発明者： 工 藤 政 都
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228214
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050916
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 イオンビームを試料に照射して仕事関数を測定する方法および仕事関数測定装置を提供すること。【解決手段】 イオンビームが選択された仕事関数測定点を照射すると、このイオンビーム照射によって試料表面の吸着ガス分子は直ちに除去される。その後は、試料の測定点から、試料の仕事関数を十分に反映した2次電子が放出される。制御手段21は分析エネルギー設定手段23を制御し、分析エネルギー設定手段23は、イオンビームが仕事関数測定点に照射されているときに、電子分光器20の分析エネルギーをある範囲内において連続的に変化(掃引)させる。エネルギースペクトル取得手段22は、電子分光器20から送られてくる信号に基づき測定点におけるスペクトルを得る。制御手段21は、エネルギースペクトル取得手段22が得たスペクトルを表示手段27に表示させる。

請求項（抜粋）：

試料にイオンビームを照射し、該イオンビーム照射により試料から放出される2次電子を検出してエネルギースペクトルを得、該得られたエネルギースペクトルから2次電子が出現する2次電子出現エネルギーを求め、該2次電子出現エネルギーに基づいて前記試料の仕事関数を求めることを特徴とする仕事関数測定法。

IPC (2件)：

G01N 23/22 ,  H01J 37/252

FI (2件)：

G01N 23/22 ,  H01J 37/252 B

Fターム (25件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA01 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001KA20 ,  2G001PA07 ,  2G001RA05 ,  5C033QQ01 ,  5C033QQ11 ,  5C033QQ13 ,  5C033QQ15 ,  5C033RR01 ,  5C033RR04 ,  5C033RR06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-262042
  
• 特開昭60-262042