特許

J-GLOBAL ID：200903081102984167

ガス濃度測定方法およびその測定装置

発明者： 山下 隆三 ,  糸井 廣 ,  内田 昌彦
出願人/特許権者： 東京電力株式会社 ,  日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052648
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256768
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 高利得で高安定度の増幅器を用いることなく圧力補正の行えるガス濃度測定方法およびその測定装置を提供すること。【構成】 変調されたレーザ光を分岐器6で分岐し、分岐光の一方を一定温度に保たれた未知濃度の測定ガス用セル7内のメタンガスを透過させ、光検出器9を介してロックインアンプ15、16で位相敏感検波して得られた二次微分信号T02の値を、一次微分信号T01の値で割算器17により割算することでガス濃度を算出すると共に、一定温度、一定圧力および既知濃度のメタンガスを収容した基準ガス用セル8を透過させ、光検出器10を介してロックインアンプ19で位相敏感検波し、得られた二次微分信号に基づいて、上記ガス濃度を補正することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

駆動電流および温度に応じた波長および強度のレーザ光を発振するレーザを用い、このレーザの駆動電流あるいは温度を変化させて、波長および強度が変調されたレーザ光を発振させると共にそのレーザ光の中心波長を掃引させ、そのレーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、この検出信号中の特定成分を位相敏感検波して、この検波信号から上記雰囲気圧力下での特定ガスの濃度を測定するガス濃度測定方法において、上記測定対象となるガス雰囲気に入射する前のレーザ光を分岐器を介して分岐し、その分岐させたレーザ光を一定温度、一定圧力かつ既知濃度の基準ガス雰囲気に通してその透過光の強度を検出し検出信号中から特定成分を位相敏感検波すると共に、この検出信号で上記測定対象ガスとする特定ガスの濃度を補正することを特徴とするガス濃度測定方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-277945
  
• 特開昭62-088943
  
• 特開平1-100437