特許
J-GLOBAL ID:200903081104995549

無電解めっき装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 成示 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-061804
公開番号(公開出願番号):特開平7-268639
出願日: 1994年03月31日
公開日(公表日): 1995年10月17日
要約:
【要約】【目的】 めっき液の移送用の配管の内部での銅の析出による銅の微粉末の残留や付着を低減し、かつ、銅の微粉末が残留したり、付着したりしているか否かの確認が容易にできる無電解めっき装置を提供する。【構成】 無電解めっき液槽1とめっき液調整槽2と、これらの2つの槽をつなぐ、めっき液7の移送用の配管3とから構成される無電解めっき装置において、上記配管3がフレキシブルな透明プラスチックチューブである。
請求項(抜粋):
無電解めっき液槽(1)とめっき液調整槽(2)と、これらの2つの槽をつなぐ、めっき液(7)の移送用の配管(3)とから構成される無電解めっき装置において、上記配管(3)がフレキシブルな透明プラスチックチューブであることを特徴とする無電解めっき装置。
IPC (2件):
C23C 18/31 ,  H05K 3/18

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