特許
J-GLOBAL ID：200903081106448030
電子線描画方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321004
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 多種類の図形を高効率で描画可能であり、かつ、高精度な図形を描画可能な電子線描画方法及び装置を実現する。【構成】 ステップ100で描画図形データの多角形化を行ない、ステップ101で多角形化した図形データを四角形に分割する。ステップ102で図形データが基本形状又は一括図形近似形状か否かを判定し基本形状又は一括図形近似形状では無いと、ステップ103に進む。ステップ103で図形データが再分割され、ステップ102で再び、基本形状又は一括図形近似形状かを判定する。ステップ102で図形データが基本形状又は一括図形近似形状ならステップ104に進み、第1アパーチャ3の複数開口図形のうち、基本形状又は一括図形近似形状の図形データと最小回転角度差を有する開口図形を選択し、座標変換演算を実行する。ステップ105に進み電子線描画装置の描画領域を分割して、各データを圧縮しデータ準備が完了となる。
請求項（抜粋）：
電子線源から発生された電子線を、複数種類の形状の開口が形成された第1成形開口部材に照射し、通過した電子線を、所定の形状の少なくとも一つの開口が形成された第2成形開口部材に照射し、通過した電子線を試料面上に照射し、所望の図形を描画する電子線描画方法において、描画する図形を所定の基本形状部分と、この基本形状部分に近似する近似部分との複数の描画部分に分割するステップと、第1成形開口部材に形成された複数の開口のうち、上記近似部分と、最小回転角度差を有する開口を選択するステップと、電子線源からの電子線を、第1成形開口部材の上記選択された開口を通過させ、この通過した電子線を上記最小回転角度差だけ回転させて、上記第2成形開口部材に形成した開口に共役させ、この共役させた電子線を試料面に照射して、上記近似部分を描画するステップと、を備えることを特徴とする電子線描画方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
