特許
J-GLOBAL ID：200903081117066415

表示装置の製造方法

発明者：
中野 泰

中野 泰 について

, 
田中 政博

田中 政博 について

, 
成松 正敏

成松 正敏 について


出願人/特許権者：
株式会社 日立ディスプレイズ

株式会社 日立ディスプレイズ について


代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-339236
公開番号（公開出願番号）：特開2005-109081
出願日： 2003年09月30日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 基板に高い耐熱性を要求することなく、均一な膜質を形成することのできる表示装置の製造方法の提供。【解決手段】 基板上に薄膜を有する表示装置の製造方法であって、前記薄膜の形成に用いられる原料ガスと前記原料ガスを熱分解させる高温ガスとを前記基板上に吹き付けながら、その吹き付ける位置を前記基板上で相対的に移動させることにより、前記基板上に前記薄膜を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜を有する表示装置の製造方法であって、 前記薄膜の形成に用いられる原料ガスと前記原料ガスを熱分解させる高温ガスとを前記基板上に吹き付けながら、その吹き付ける位置を前記基板上で相対的に移動させることにより、前記基板上に前記薄膜を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
IPC (10件)：
H01L21/205 ,  G02F1/1362 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L21/20 ,  H01L21/316 ,  H01L21/318 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H05B33/14
FI (15件)：
H01L21/205 ,  G02F1/1362 ,  G09F9/00 342Z ,  G09F9/30 310 ,  G09F9/30 338 ,  H01L21/20 ,  H01L21/316 B ,  H01L21/318 B ,  H05B33/14 A ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 627G ,  H01L29/78 617V ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/78 626C ,  H01L29/78 616L
Fターム (124件)：
2H092GA29 ,  2H092JA25 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA40 ,  2H092JA46 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KA15 ,  2H092KA17 ,  2H092KA18 ,  2H092KB11 ,  2H092KB24 ,  2H092MA01 ,  2H092MA05 ,  2H092MA06 ,  2H092MA07 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092MA35 ,  2H092NA24 ,  2H092NA27 ,  2H092PA01 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007GA00 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EB01 ,  5C094FB03 ,  5C094FB05 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5C094JA20 ,  5F045AA03 ,  5F045AB04 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AC01 ,  5F045AC12 ,  5F045AC16 ,  5F045AE29 ,  5F045AF07 ,  5F045CA15 ,  5F045DQ16 ,  5F045EE07 ,  5F045EE14 ,  5F045EM10 ,  5F052AA11 ,  5F052DA02 ,  5F052DB01 ,  5F052JA01 ,  5F058BC02 ,  5F058BC08 ,  5F058BF02 ,  5F058BF23 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30 ,  5F058BF38 ,  5F058BG04 ,  5F110AA28 ,  5F110BB02 ,  5F110BB10 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE03 ,  5F110EE06 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF29 ,  5F110FF36 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG44 ,  5F110GG52 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL12 ,  5F110NN02 ,  5F110NN04 ,  5F110NN05 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110PP01 ,  5F110PP05 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ14 ,  5F110QQ19 ,  5F110QQ24 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435HH13 ,  5G435HH14 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (3件)

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