特許
J-GLOBAL ID:200903081121451455
光学部材検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
遠山 勉 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-182558
公開番号(公開出願番号):特開平9-222382
出願日: 1996年07月11日
公開日(公表日): 1997年08月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 光学部材全体の複屈折状態及び屈折力異常やゴミ,キズ等の不良原因を示すデータを出力できる光学部材検査装置を提供する。【解決手段】ライトガイドケーブル1から出射された白色光は、ナイフエッジ2aが形成された拡散板2にて拡散されて、照明側偏光フィルタ3に入射する。この照明側偏光フィルタ3は、ある一定方向の直線偏光光のみを透過し、光学部材Aに入射される。この光学部材A内の複屈折を生じている箇所を透過した直線偏光光は、その振動方向が旋光される。カメラ側偏光フィルタ4は、照明側偏光フィルタ3によって透過される直線偏光と同方向に振動する直線偏光のみを透過する。従って、光学部材A内の複屈折を生じている箇所を透過した光はその光量が減衰する。一方、屈折力異常が生じると、撮像装置5によって撮像されるナイフエッジ2aの像の状態が乱れる。
請求項(抜粋):
光学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であって、照明光によって照明される拡散板と、前記光学部材を含む光学系の焦点位置に配置されるとともに、前記拡散板によって拡散された光を部分的に通過させる遮光手段と、前記光学系の光軸上における前記光学部材の前後に夫々位置する一組の偏光子と、この一組の偏光子を前記光軸に交わる面内において相互の回転位相差を一定に保ちつつ回転させる偏光子回転手段と、この偏光子回転手段によって回転させられた前記一組の偏光子の複数の回転位置において、前記光学系及び前記一組の偏光子を透過した光を撮像する撮像手段と、前記一組の偏光子が一回転する間に前記撮像手段によって撮像された画像を合成する合成手段とを備えたことを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (3件):
G01M 11/00
, G01N 21/23
, G01N 21/88
FI (3件):
G01M 11/00 T
, G01N 21/23
, G01N 21/88 D
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