特許
J-GLOBAL ID：200903081128767369
帯状ワークの搬送・位置決め方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082455
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274520
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 帯状ワークにパーフォレーションホール等を設けることなく、帯状ワークの搬送方向の位置ずれの累積の影響を低減化すること。【解決手段】 帯状ワークWをパターン領域のピッチに対応した所定量だけ移動し停止させ、光照射部LHより露光光もしくは非露光光をマスクMのマスクアライメント・マークMAMに照射する。そして、アライメントユニットAUによりマスクアライメント・マークMAM像と帯状ワークWに設けられたワークアライメント・マークWAMを検出し、帯状ワークWの進行方向における上記両マークMAM、WAMの位置ずれ量δを求め記憶する。そして、帯状ワークWを次のパターン領域まで移動させる際、上記帯状ワークWのパターン領域のピッチに対応した所定量に上記位置ずれ量δを加味した量だけ帯状ワークWを移動し停止させる。
請求項（抜粋）：
帯状ワークにマスクパターンを露光し、露光終了後、帯状ワークの次のパターン領域にマスクパターンを露光するため、上記帯状ワークをパターン領域のピッチに対応した所定量だけ移動し停止させる帯状ワークの搬送・位置決め方法であって、帯状ワークが停止した後、光照射部より露光光もしくは非露光光を、マスクパターンとマスクアライメント・マークを有するマスクのマスクアライメント・マークに照射し、上記マスクアライメント・マーク像と帯状ワークに設けられたワークアライメント・マークを検出し、帯状ワークの進行方向における上記マスクアライメント・マーク像とワークアライメント・マークの位置ズレ量を求め、帯状ワークを次のパターン領域まで移動させる際、上記帯状ワークのパターン領域のピッチに対応した所定量に上記位置ズレ量を加味した量だけ帯状ワークを移動し停止させることを特徴とする帯状ワークの搬送・位置決め方法。
IPC (4件)：
G05D 3/12
, B65H 23/188
, G03F 9/00
, H01L 23/50
G05D 3/12 U
, B65H 23/188 Z
, G03F 9/00 Z
, H01L 23/50 A
