積層型圧電アクチュエータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276191
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114610
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】圧電板の亀裂の発生を防止でき、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板2と複数の金属薄板4とを交互に積層し、圧電板2と金属薄板4とを導電性接着層1により接合してなるとともに、金属薄板4を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、金属薄板4が、金属母材板6の両面に、該金属母材板6よりもヤング率の小さい金属箔7を接着してなるものである。

請求項（抜粋）：

複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に積層し、前記圧電板と前記金属薄板とを導電性接着層により接合してなるとともに、前記金属薄板を交互に電気的に接続した積層型圧電アクチュエータにおいて、前記金属薄板が、金属母材板の両面に、該金属母材板よりもヤング率の小さい金属箔を接着してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/083 , F02M 51/06

FI (2件)：

H01L 41/08 Q , F02M 51/06 N

Fターム (6件)：

3G066BA33 , 3G066BA46 , 3G066BA54 , 3G066CD30 , 3G066CE27 , 3G066CE31

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭62-165381

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