特許
J-GLOBAL ID：200903081144977454
像観察方法及び透過電子顕微鏡装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-133109
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181045
出願日： 1993年06月03日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】磁性薄膜上の磁気記録ビットの磁化成分を観察可能にする。また、磁化像の中に混入する、結晶粒起源のコントラストを低減し、磁気的構造を明瞭に観察できるようにする。【構成】電子ビーム1の経路に平行な軸を中心に、試料5の面を90度以上回転可能とし、かつ試料5の面を磁気記録のトラック方向に対して面内に回転した軸24と電子ビーム1の経路に平行な軸とに直交する軸22を中心に傾斜も可能とする試料ホルダ駆動手段を設けた。観察にはトラック方向に対しての回転角度の限定を行った。【効果】磁化に比べて漏洩磁界の影響を相対的に小さくでき、また、磁気的な構造に影響を与えることなく、結晶粒起源のコントラストを低減できるため、磁気記録ビット中の磁化状態を明瞭に観察できる。
請求項（抜粋）：
電子ビームを発生する電子源と、加速、収束、及び走査するための静電及び電磁レンズと、収束した電子ビームが磁性薄膜を透過するときの偏向量を検出する検出器とを備えた走査型透過電子顕微鏡において、上記磁性薄膜を保持する試料ホルダーを上記磁性薄膜の面内方向に回転し、かつ上記薄膜の面の電子ビームに対する傾斜を可変する試料ホルダー駆動手段を設けたことを特徴とする透過電子顕微鏡装置。
IPC (2件)：
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