特許

J-GLOBAL ID：200903081172186640

電子線描画装置

発明者： 酒井 広之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-022717
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222500
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 高速の連続描画に対応可能な試料ステージの制動機構を備えた電子線描画装置を実現する。【構成】 制動機構23aはXテーブル15に固定された制動ベース28と、ベース28の回動軸42に支持され軸42を中心にA1方向に回動するレバー26と、Xテーブル15に一方端が固定され他方端がレバー26をA2方向に押圧する圧電素子と、一方端がレバー26に固定された板ばね25と、板ばね25の他方端の回動軸43に回転可能に支持されベース16を転がるベアリング24とを有する。Xテーブル15に制動をかけない状態ではベアリング24はベース16上をころがる。Xテーブル15に制動をかける時は圧電素子27に電圧を印加し圧電素子27を伸ばすとレバー26が軸42を中心に反時計方向に回転しベアリング24をベース16を押し付ける力が増加し、Xテーブル15が制動される。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に向けて発生する電子線発生源と、この電子線発生源からの電子線が試料に所望のパターンを描画するように電子線を制御する電子線制御手段と、試料が配置される試料台と、この試料台が配置される基台と、上記試料台と基台との間に配置されるころがり部材を有し、上記試料台が基台に対して移動可能とする移動機構と、電子線の描画動作に応じて試料台を移動するように、上記移動機構を制御する移動機構制御手段とを有する電子線描画装置において、上記試料台の基台に対向する面に配置される圧電素子と、圧電素子ところがり部材とを接続する緩衝部材と、移動機構制御手段の動作に応答して、圧電素子に電圧を印加し、圧電素子の伸長動作を緩衝部材を介してころがり部材に伝達させ、試料台の移動の制動を制御する圧電素子制御手段と、を備えることを特徴とする電子線描画装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 541 L ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 541 J