特許
J-GLOBAL ID：200903081184988327
マイクロ傾斜センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303947
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136929
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 従来のマイクロ傾斜センサの欠点を取り除く。【解決手段】 加速度受信装置(1a,1c)が次のように、すなわち、それが、回転運動によって作用する遠心力によって、かつ重力加速度によりばね装置(3a〜3d,121a〜121d,122a〜122d)のばね緊縮力に抗して作用する力によって、センサ軸線(A-A′)に沿って変位可能であるように、構成されている。更に、加速度受信装置(1a,1c)の変位を把握して、鉛直線に対するセンサ軸線(A-A′)の傾斜角を調べるための評価装置が設けられている。
請求項（抜粋）：
基板と、基板上に第1のばね装置(3a〜3d;3a′〜3d′)によって弾性的に取り付けられているリング体(2)と、リング体(2)を駆動してリング軸線を中心として回転運動させるためのリング体(2)と結合された駆動装置(5a〜5d;5a′〜5d′)と、第2のばね装置(121a〜121d,122a〜122d;13a′〜13d′)を介してリング体(2)に取り付けられている加速度受信装置(1a,1c;1b,1d;1a′,1c′;1b′,1d′)とを有し、その際加速度受信装置(1a,1c;1b,1d;1a′,1c′;1b′,1d′)は次のように、すなわち、それが、回転運動によって作用する遠心力によって、かつ重力加速度により両方のばね装置のばね緊縮力に抗して作用する力によって、リング軸線を通って延びるセンサ軸線(A-A′)に沿って変位可能であるように、構成されており、更に、加速度受信装置(1a,1c;1b,1d;1a′,1c′;1b′,1d′)の変位を把握して、鉛直線(V)に対するセンサ軸線(A-A′)の傾斜角(α)を調べるための評価装置を有している、マイクロ傾斜センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01C 9/06 C
, G01P 15/00 A
