特許

J-GLOBAL ID：200903081187421506

照明装置とこれを有する露光装置や顕微鏡装置、ならびにデバイス生産方法

発明者： 三宅 明 ,  林田 雅美
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168707
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021900
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 放射源からの放射光に含まれる露光や像観察に悪影響を与える不要光を取り除く。【構成】 X線縮小露光機やX線顕微鏡の照明系に、非対称ブラッグ結晶や回折格子などの分光素子を設けて放射光を分光することにより、不要な長波長光でマスクや試料が照明されないようにし、解像度の低下を防止する。不要な光はアパーチャをつけた吸収体で吸収する。

請求項（抜粋）：

放射源から放射されるX線もしくは真空紫外線を含む放射光を分光する光学素子を有し、特定の波長の放射光で物体を照明する手段を有することを特徴とする照明装置。

IPC (6件)：

G21K 5/02 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G21K 5/02 X ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 1/06 A ,  H01L 21/30 531 A ,  H01L 21/30 531 E