特許
J-GLOBAL ID：200903081189529835
熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147289
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343388
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 ゴミが発生することがなく、半導体製造に悪影響を及ぼすことがない熱処理装置を提供することにある。【構成】 燃焼室11と炉芯管12とを接続し、燃焼室11で発生した水蒸気を炉芯管12へ導入する耐熱流送管13を有し、耐熱流送管13の外周にこれを覆うように設けられ軸方向に複数に分割されるとともに、内部に密閉された空洞31を有する石英管30と、この石英管30の空洞内31に配設されたシースヒータ32とを具備した。
請求項（抜粋）：
燃焼室と炉芯管とを接続し、燃焼室で発生した水蒸気を炉芯管へ導入する耐熱流送管を有する熱処理装置において、前記耐熱流送管の外周にこれを覆うように設けられ軸方向に複数に分割されるとともに、内部に密閉された空洞を有する石英管と、この石英管の空洞内に配設された電気ヒータとを具備したことを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31
, F16L 53/00
, H01L 21/22
