特許
J-GLOBAL ID:200903081191266000

微細粒子の分散配置方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-001851
公開番号(公開出願番号):特開平5-190580
出願日: 1992年01月09日
公開日(公表日): 1993年07月30日
要約:
【要約】【目的】 平板上に、多数の微細粒子を重なることなく、かつ、集合せしめて分散配置させるための方法に関し、該分散配置の確実性確保を目的とする。【構成】 多数の微細粒子5と揮発性液体12とをほぼ水平な2枚の平板11と13の間に挟む。そのとき、2枚の平板11と13の対向間隙dを微細粒子5の直径より大きく微細粒子5の直径の2倍より小さくする。その対向間隙dを保ちながら2枚の平板11と13の一方を水平方向に移動せしめる。次いで、平板13を取り除き平板11の上に微細粒子5と共に取り残された揮発性液体12を揮発せしめるように構成する。さらに、平板11に相当する平板の上面に、1個の微細粒子5が隠れることなく嵌合する多数の凹所を設け、対向間隙dを凹所に嵌合した微細粒子5を押し潰すことなく微細粒子5の直径より小さくし、前記揮発性液体12および平板13とを用い、前記方法と同一工程で微細粒子5を分散配置させる。
請求項(抜粋):
多数の微細粒子(5) と揮発性液体(12)とをほぼ水平な2枚の平板(11,13) の間に挟み、該2枚の平板(11,13) の対向間隙(d) を該微細粒子(5) の直径より大きく該微細粒子(5) の直径の2倍より小さい値とし、該対向間隙(d) を保ちながら該2枚の平板(11,13) の少なくとも一方 (11または13) を水平方向に移動せしめ、上方の該平板(13)を取り除き、下方の該平板(11)の上に該微細粒子(5) と共に取り残された該揮発性液体(12)を揮発せしめることを特徴とする微細粒子の分散配置方法。
IPC (2件):
H01L 21/52 ,  H05K 3/34
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特公昭56-004726

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