特許
J-GLOBAL ID：200903081193432587
干渉測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-509716
公開番号（公開出願番号）：特表2004-502953
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
本発明は、物体(BO)の面(A)の形状を測定するための干渉測定装置であって、短コヒーレント光を放射する光源(KL)と、物体光路(OW)を介して物体(OB)に導かれる物体光と参照光路(RW)を介して反射する参照面(SP1)に導かれる参照光とを形成するためのビームスプリッタ(ST)と、前記物体面(A)と前記参照面(SP1)とから戻されかつ干渉されている光を捕捉検出するイメージ変換器(BW)と、該物体面(A)に関連する測定結果を突き止めるための評価装置とを備えており、測定のために、参照光路(RW)の光路長に対して物体光路(OW)の光路長が相対的に変化されるという形式のものに関する。物体光路(OW)に、多焦点光学素子(LB)または種々異なった結像要素から成っている自由セグメント光学系(FO)を備えたスーパーポジション光学系が設けられており、該スーパーポジション光学系によって同時に、前記物体面(A)からの他に少なくとも1つの別の面(B)から像を生成できるようになっており、該像は直接または物体光路における少なくとも1つの中間結像を介して前記イメージ変換器(BW)に結合されかつ前記物体面(A)および少なくとも1つの別の面(B)の測定は参照光路の光路長に対する物体光路の光路長の相対変化に基づいて行われるようにしたことで、簡単な調整において空間的に相互に分離している表面の正確な測定が可能になる。
請求項（抜粋）：
物体(BO)の面(A)の形状を測定するための干渉測定装置であって、
短コヒーレント光を放射する光源(KL)と、物体光路(OW)を介して物体(OB)に導かれる物体光と参照光路(RW)を介して反射する参照面(SP1)に導かれる参照光とを形成するためのビームスプリッタ(ST)と、前記物体面(A)と前記参照面(SP1)とから戻されかつ干渉されている光を捕捉検出するイメージ変換器(BW)と、該物体面(A)に関連する測定結果を突き止めるための評価装置とを備えており、
測定のために、参照光路(RW)の光路長に対して物体光路(OW)の光路長が相対的に変化される
という形式のものにおいて、
物体光路(OW)に、多焦点光学系(LB)または種々異なった結像要素から成っている自由セグメント光学系(FO)を備えたスーパーポジション光学系が設けられており、
該スーパーポジション光学系によって同時に、前記物体面(A)からの他に少なくとも1つの別の面(B)から像を生成できるようになっており、該像は直接または物体光路における少なくとも1つの中間結像を介して前記イメージ変換器(BW)に結合されかつ
前記物体面(A)および少なくとも1つの別の面(B)の測定は参照光路の光路長に対する物体光路の光路長の相対変化に基づいて行われる
ことを特徴とする測定装置。
IPC (3件)：
G01B9/02
, G01B11/24
, G01J9/02
G01B9/02
, G01J9/02
, G01B11/24 D
2F064AA06
, 2F064AA09
, 2F064AA15
, 2F064CC01
, 2F064EE01
, 2F064FF03
, 2F064FF07
, 2F064GG06
, 2F064GG32
, 2F064GG44
, 2F064GG45
, 2F064GG49
, 2F064GG61
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064KK01
, 2F065AA30
, 2F065AA45
, 2F065AA51
, 2F065BB01
, 2F065BB05
, 2F065DD03
, 2F065DD10
, 2F065FF04
, 2F065FF52
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL01
, 2F065LL12
, 2F065LL32
, 2F065LL42
, 2F065UU07
