特許
J-GLOBAL ID：200903081197460976
プラズマエッチング用単結晶シリコン製電極板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283408
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129605
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 パーティクル付着の少ないプラズマエッチング用単結晶シリコン製電極板を提供する。【解決手段】 電極板部21および支持リング部22が一体の単結晶シリコンで構成されているプラズマエッチング用単結晶シリコン製電極板。
請求項（抜粋）：
電極板部および支持リング部が一体の単結晶シリコンで構成されていることを特徴とするプラズマエッチング用単結晶シリコン製電極板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 C
, C23F 4/00 Z
