特許
J-GLOBAL ID：200903081199644730
リッジ型三次元導波路の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047843
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215928
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】本発明は幾何的形状因子による伝搬損失を低減させ、低伝搬損失リッジ型三次元導波路の作製を目指すものである。【構成】 単一分極化された誘電体材料の少なくとも一部分の分極方向を反転させエッチングによりリッジ構造を形成した後、光導波路を形成するか、二次元導波路上の少なくとも一部分の分極方向を反転させエッチングにより三次元導波路を形成するリッジ型三次元導波路の製造方法。
請求項（抜粋）：
単一分極化された誘電体材料からなる二次元導波路上の少なくとも一部分の分極方向を反転せしめる工程、エッチングにより三次元導波路を形成する工程を含むことを特徴とするリッジ型三次元導波路の製造方法。
引用特許：
前のページに戻る
