特許

J-GLOBAL ID：200903081200476684

プローブカード

発明者： 江口 光一
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335363
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153885
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 同軸ケーブルの中心導体につながっている第1種のプローブ針の近くに、これと所定の隙間を隔てて、接地された導電性の台座を配置することで、高周波を用いた測定の信頼性を高める。【解決手段】 同軸ケーブル36の外側導体44の先端は、基板26の下面の接地用導体48に半田50で固定されている。基板26の中央の開口32のところでは、接地用導体48に導電性の台座52が半田で固定されている。第1種のプローブ針34の基端は同軸ケーブル36の中心導体42につながっている。第1種のプローブ針34は台座52の下面56に対して平行に配置されていて、両者の間には隙間58がある。この隙間58は誘電体40で埋められている。さらに、同軸ケーブル36の先端(すなわち外側導体44の先端45)から台座52の先端53に達するまでの領域では、第1種のプローブ針34の周囲は誘電体40で完全に覆われている。

請求項（抜粋）：

次の構成を備えるプローブカード。(イ)接地用導体と配線導体が設けられた基板。(ロ)中心導体と外側導体とを備える同軸ケーブルであって、前記外側導体の少なくとも一部が前記接地用導体に固定された同軸ケーブル。(ハ)前記中心導体につながっている第1種のプローブ針。(ニ)前記接地用導体に接続された導電性の台座であって、前記第1種のプローブ針との間に所定の隙間を設けて配置された台座。(ホ)前記隙間を満たすとともに、前記外側導体の先端から前記台座の先端までの間の領域において前記中心導体と前記第1種のプローブ針とからなる信号線の周囲を完全に覆う誘電体。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/067 H ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (13件)：

2G003AA10 ,  2G003AE03 ,  2G003AG04 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AA22 ,  2G011AC32 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD04 ,  4M106DD15