特許

J-GLOBAL ID：200903081200833290

半導体装置試験用電子ビーム装置

発明者： 石塚 俊弘 ,  栗生沢 寿郎
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227264
公開番号（公開出願番号）：特開平6-075026
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】本発明は、半導体装置に接続されるパッドを備えた半導体装置試験用電子ビーム装置に関し、移動機構を改造せずに測定精度を良くすることを目的とする。【構成】電子ビームが照射される領域及びその周辺領域で、移動可能に配置される絶縁性ボード2と、前記絶縁性ボード2上に形成され、半導体装置Wに接続される複数の導電性パッド3と、前記導電性パッド3の周りに形成される導電膜13と、前記導電性パッド3に向けて電子ビームを照射する電子銃4と、前記導電性パッド3から放出された二次電子を検出する二次電子検出器8とを含み構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビームが照射される領域及びその周辺領域で、移動可能に配置される絶縁性ボード(2)と、前記絶縁性ボード(2)上に形成され、半導体装置(W)に接続される複数の導電性パッド(3)と、前記導電性パッド(3)の周りに形成される導電膜(13、20、22)と、前記導電性パッド(3)に向けて電子ビームを照射する電子銃(4)と、前記導電性パッド(3)から放出された二次電子を検出する二次電子検出器(8)とを有することを特徴とする半導体装置試験用電子ビーム装置。

IPC (2件)：

G01R 31/302 ,  H01L 21/66