特許
J-GLOBAL ID：200903081210058368
弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柿本 恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252560
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090865
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 周波数特性を劣化させることなく、中心周波数の所望の値からのずれを的確に調整する。【構成】 圧電基板1上に形成されたすだれ状電極2,3に通電して中心周波数を測定し、該測定値が所望の値になるまで、該すだれ状電極2,3をマスクにして所定のエッチング条件下で、圧電基板表面をドライエッチングする。
請求項（抜粋）：
電気信号を弾性表面波に変換した後にその弾性表面波を再度電気信号に変換するすだれ状電極パターンを、圧電基板上に形成した狭帯域の弾性表面波フイルタにおいて、前記すだれ状電極パターンに通電して中心周波数を測定し、該測定値が所望の値になるまで、前記すだれ状電極パターンをマスクにして所定のエッチング条件下で前記圧電基板をドライエッチングすることを特徴とする弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法。
IPC (3件)：
H03H 3/10
, H03H 9/25
, H03H 9/64
