特許

J-GLOBAL ID：200903081214317074

アクチユエータのガイド機構及びその作製方法

発明者： 尾崎 元美 ,  高橋 淳一 ,  堀口 浩幸
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-212123
公開番号（公開出願番号）：特開平5-056666
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】 可動電極に所望とする動きを与えると共に作製プロセスの簡略化を図ることを目的とすることを特徴とするアクチュエータのガイド機構及びその作製方法。【構成】 ベース1と、このベース1上に形成された固定電極2a,2bと、この固定電極2a,2bの間に設けられた可動電極とを備え、固定電極2a,2bと可動電極との間に電圧を印加し静電力を作用させることにより、可動電極をベース1上で移動自在としたアクチュエータにおいて、べース1上に複数本の凹状のガイド溝5を形成し、このガイド溝5と対応する可動電極側の面にそのガイド溝5と係合する凸状のガイドレール6を形成した。

請求項（抜粋）：

ベースと、このベース上に形成された固定電極と、この固定電極の間に設けられた可動電極とを備え、前記固定電極と前記可動電極との間に電圧を印加し静電力を作用させることにより、前記可動電極を前記ベース上で移動自在としたアクチュエータにおいて、前記べース上に複数本の凹状のガイド溝を形成し、このガイド溝と対応する前記可動電極側の面にそのガイド溝と係合する凸状のガイドレールを形成したことを特徴とするアクチュエータのガイド機構。