特許
J-GLOBAL ID：200903081214442707
表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-090574
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285557
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】“ゆず肌”のような表面粗さの影響を受けず、より精密な欠陥検出を行なうことの出来る表面欠陥検査装置を提供する。【構成】明暗変化が連続的または少なくとも2段階以上の段階的に変化し、その変化が所定の間隔で周期的に繰り返される明暗パターンを被検査面に映し出す照明手段101と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段102と、上記撮像手段によって得られた画像データを処理して被検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段103と、を備え、明暗の境界部分の変化の度合いを緩やかにすることにより、“ゆず肌”のような表面粗さの影響を受けず、正確な欠陥検出を可能にした表面欠陥検査装置。
請求項（抜粋）：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、明暗変化が連続的または少なくとも2段階以上の段階的に変化し、その変化が所定の間隔で周期的に繰り返される明暗パターンを被検査面に映し出す照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記撮像手段によって得られた画像データを処理して被検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 C
, G01N 21/88 Z
