特許
J-GLOBAL ID：200903081215975296

加速度センサとその製造方法

発明者：
杉浦 真紀子

杉浦 真紀子 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-090877
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294401
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】可動構造部と基板の付着を防止する突起を工程数が増加することなく形成する。【解決手段】加速度センサの可動電極を含む可動構造部側のSi基板10-2と固定電極が形成されるSi基板10-1の間に隙間を形成するエッチング工程のエッチング残しを形成することにより可動構造部の下に可動構造部と基板の付着を防止する突起20を形成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
固定電極と可動電極の間の容量に基づいて加速度を検出する加速度センサにおいて、 前記可動電極を含む可動構造部と前記固定電極が形成される基板の間に隙間を形成するエッチング工程のエッチング残しを形成することにより、前記可動構造部の下に前記可動構造部と前記基板の付着を防止する突起を形成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (2件)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (9件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (5件)
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