工程管理システム及び物品の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401085
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202806
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】工程の処理パラメータの設定値が頻繁に変化する場合であっても、適切な工程管理と物品の品質管理を行うことができる工程管理システム及び物品の製造方法を得る。【解決手段】品種毎に関連づけられた特性値を記憶し、各品種毎の特性値についての当該品種毎に関連づけられた平均値及び標準偏差を演算する。処理予定の特定品種を選択して入力し、処理パラメータの設定値を決定し、この設定値に基づいて処理を行い得られる特性値を平均値及び標準偏差を用いて標準化する。複数回の処理について標準化された特性値の平均値及び範囲を演算し、この標準化された特性値の平均値及び範囲に基づいて工程の異常の有無を判断する。

請求項（抜粋）：

複数の品種について共通する処理を備えた工程を管理するシステムであって、上記共通する処理におけるある処理パラメータについて、各品種の処理後の特性値を各々の品種について複数入力することにより、当該品種毎に関連づけられた特性値を記憶する記憶手段と、上記記憶手段の記憶データに基づいて上記各品種毎の特性値についての当該品種毎に関連づけられた平均値及び標準偏差を演算する第1演算手段と、上記工程において処理する予定の1つの特定品種を上記複数の品種の中から選択して入力する品種入力手段と、上記品種入力手段からの品種決定信号に対応する処理パラメータの設定値を決定する設定値決定手段と、上記処理パラメータの設定値に基づいて処理された上記品種決定信号に対応する特定品種の処理後の特性値を上記第1演算手段で演算された当該特定品種に関連づけられた特性値の平均値及び標準偏差を用いて標準化する第2演算手段と、複数回の処理について上記第2演算手段で得られる標準化された特性値の平均値及び範囲を演算する第3演算手段と、上記標準化された特性値の平均値及び範囲に基づいて、上記工程の異常の有無を判断する異常判断手段と、この異常判断手段が異常有りと判断すると警告を発する警告手段と、を備えてなる工程管理システム。

IPC (6件)：

G05B 19/418 , G06F 17/18 , H01L 21/02 , H01L 21/027 , H01L 21/302 , H01L 21/363

FI (7件)：

G05B 19/418 Z , G06F 17/18 A , G06F 17/18 D , H01L 21/02 Z , H01L 21/363 , H01L 21/30 502 G , H01L 21/302 Z

Fターム (18件)：

3C100AA57 , 3C100BB27 , 3C100EE06 , 5B056BB62 , 5B056BB64 , 5B056HH00 , 5F004AA16 , 5F004BA11 , 5F046AA25 , 5F046AA28 , 5F046DA02 , 5F046DD03 , 5F046DD06 , 5F103AA08 , 5F103DD28 , 5F103HH10 , 5F103LL20 , 5F103RR10

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