特許

J-GLOBAL ID：200903081218434911

薄膜評価方法及びその評価装置

発明者： 大畑 久代 ,  日比野 邦男
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 粟野 重孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-126131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320286
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、薄膜の保存加速評価方法及び、評価装置に関するものであり、フィールドテストに類似した腐食を発生させ、短時間でフィールドテストの加速を行えることを目的とする。【構成】 腐食性ガス供給液2から発生する腐食性ガスを撹拌する撹拌板5と、スライドガラスに貼られた薄膜4を試験槽1内に設置し、フィールドテストに類似した腐食状態を形成し、薄膜4に短時間でフィールドテストと同様の腐食を発生させて薄膜4の保存寿命を推定する薄膜評価装置とする。

請求項（抜粋）：

腐食性ガス雰囲気中に薄膜を曝露する薄膜評価方法において、水に対する溶解度が20%以上の腐食性ガスを用いることを特徴とする薄膜評価方法。