特許

J-GLOBAL ID：200903081236882646

膜構造物用歪みセンサー

発明者： 福田 武人 ,  木村 隆幸 ,  橋本 和生
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064212
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260090
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 膜構造物の歪みを検出し、変位、応力、振動などを測定することができる水熱合成法による圧電結晶膜を用いた膜構造物用歪みセンサーを提供することを目的とする。【解決手段】 基板上に設けられたチタン金属面上に水熱合成法により圧電結晶膜が形成されており、さらに前記圧電結晶膜上に電極が付与されている膜構造物用歪みセンサーに関する。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられたチタン金属面上に水熱合成法により圧電結晶膜が形成されており、さらに前記圧電結晶膜上に電極が付与されていることを特徴とする膜構造物用歪みセンサー。

IPC (3件)：

G01L 1/16 ,  G01B 7/16 ,  H01L 41/08

FI (3件)：

G01L 1/16 ,  G01B 7/18 G ,  H01L 41/08 Z