特許

J-GLOBAL ID：200903081244190680

エッチング方法

発明者： 砂古口 七郎 ,  津久井 謙一 ,  久保田 吉勝 ,  石塚 義次
出願人/特許権者： 旭電化工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228771
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073563
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、常に最良の条件で連続的にエッチング処理を行うことができる方法を提供することにある。【構成】 本発明に係るエッチング方法は、塩化第二鉄水溶液による金属の連続的エッチング方法において、所定割合の塩素酸塩水溶液、塩化水素水溶液及び塩化第二鉄水溶液をエッチング液に供給するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を検知し、この検知結果に基づき上記溶液を別個にまたは塩化水素水溶液と塩化第二鉄水溶液との混合溶液と塩素酸塩水溶液とをエッチング液へ供給して予め設定された酸化還元電位を連続的に維持し、かつエッチング液の塩化水素濃度を検知し、この検知結果に基づき塩化水素水溶液または塩化水素水溶液と塩化第二鉄水溶液を別個にまたは混合溶液としてエッチング液へ供給して予め設定された塩化水素濃度を連続的に維持することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

塩化第二鉄水溶液による金属の連続的エッチング方法において、塩素酸ナトリウム、塩素酸カリウム及び塩素酸カルシウムからなる群から選択される塩素酸塩1モルに対し、塩化水素5〜6.5モル並びに塩化第二鉄2.5〜30モルの割合で塩素酸塩水溶液、塩化水素水溶液及び塩化第二鉄水溶液をエッチング液に供給するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を検知し、この検知結果に基づき上記溶液を別個にまたは塩化水素水溶液と塩化第二鉄水溶液との混合溶液と塩素酸塩水溶液とをエッチング液へ供給して予め設定された酸化還元電位を連続的に維持し、かつエッチング液の塩化水素濃度を検知し、この検知結果に基づき塩化水素水溶液または塩化水素水溶液と塩化第二鉄水溶液を別個にまたは混合溶液としてエッチング液へ供給して予め設定された塩化水素濃度を連続的に維持することを特徴とするエッチング方法。

IPC (3件)：

C23F 1/18 ,  C23F 1/28 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-122090
  
• 特開昭64-087788
  
• 特開平2-022483