特許
J-GLOBAL ID：200903081244772817
表面磁性顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105197
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311251
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】試料表面の磁束分布を試料の凹凸情報とは分離して高分解能で検出でき、かつ、試料の透磁率、抵抗率などの物理特性を局所的に計測することのできる表面磁性顕微鏡を実現する。【構成】電磁コイル5により試料2に高い周波数の変調磁界を印加し、試料2を貫通する磁束6により試料2表面に誘起されるうず電流を、走査型トンネル顕微鏡などの探針1により表面の凹凸情報とは周波数で分離して検出し、試料2表面の磁束分布を高分解能で計測する。
請求項（抜粋）：
試料に変調磁界を印加することによって、該試料の表面に誘起される磁束のまわりに流れるうず電流を走査型プローブ顕微鏡を用いて検出することにより、上記試料表面の磁気特性を計測することを特徴とする表面磁性顕微鏡。
IPC (5件)：
G01R 33/10
, G01N 27/72
, G01N 37/00
, G01R 33/12
, H01J 37/28
