特許

J-GLOBAL ID：200903081258920908

基板処理装置の処理液吐出ノズル

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249203
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061363
出願日： 1998年08月18日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 短時間で基板の表面全域に処理液を供給して基板を処理することが可能な基板処理装置の処理液吐出ノズルを提供することを目的とする。【解決手段】 処理液吐出ノズル1は、処理液貯留部42と処理液吐出口47とを有するノズル本体43と、処理液貯留部42内の処理液に対して超音波振動を付与するための超音波発振子41と、処理液吐出口47よりも小さいオリフィスを有する絞り部48と、処理液貯留部42内に存在する気泡を処理液貯留部42から外部に排出するための超音波発振子41に形成された気泡排出孔44とを備える。上記絞り部48と処理液吐出口47とは、絞り部48から処理液吐出部47に向けて順次その断面が拡大する形状を有する内壁45により接続されている。そして、この内壁45は、その内部を通過する処理液の流線に沿ってなめらかに変化する、ド・ラバル管状の形状を有する。

請求項（抜粋）：

基板に対して処理液を供給するため基板処理装置の処理液吐出ノズルであって、ノズル本体と、前記ノズル本体内における処理液の流路中に形成された絞り部と、前記ノズル本体の下方に形成された処理液吐出口とを備え、前記ノズル本体の内壁は、前記絞り部と前記処理液吐出口とを、前記絞り部から前記処理液吐出口に向けて順次その断面積が拡大する状態で接続することを特徴とする基板処理装置の処理液吐出ノズル。

IPC (5件)：

B05B 1/00 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/304 643 ,  B08B 3/02

FI (5件)：

B05B 1/00 Z ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/304 643 D ,  B08B 3/02 G

Fターム (31件)：

2H096AA25 ,  2H096CA14 ,  2H096GA31 ,  2H096LA30 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BB44 ,  3B201BB53 ,  3B201BB82 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CB12 ,  3B201CC01 ,  3B201CC13 ,  3B201CD22 ,  4F033AA04 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F042AA07 ,  4F042CA01 ,  4F042CA07 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042DA01 ,  4F042DB39