研磨方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , , , ,
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144891
公開番号（公開出願番号）：特開平10-329010
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】効率良く研磨具の研磨面を整形して、高精度でワークを研磨し得る研磨技術を提供する。【解決手段】回転定盤12の研磨面14のうち回転中心部から外周部の間の所定の半径領域に、リング状の整形面を有する回転自在の修正筒体21を接触させ、回転定盤12と修正筒体21の相対回転数と相互回転軸角度を変数として平面および曲面の安定した高精度な研磨面を数値制御により回転定盤12を整形することを可能とする。整形された回転定盤12にワークWを接触させることによりワークWを高精度で研磨することができる。

請求項（抜粋）：

平面状の接触面を有する回転体の回転中心部から外周部の間の所定の半径領域に、リング状の接触面を有する1つまたは複数の筒体をその回転中心軸を前記回転体の回転中心軸に平行にして接触させ、前記回転体を一定の回転数で回転駆動するとともに前記筒体を前記回転体と同一方向に同一回転数で回転駆動することにより、前記回転体に接触する前記リング状の接触面の全面における接触相対速度を同一に設定し、前記回転体の接触面と前記筒体の接触面相互間で研磨を行うようにしたことを特徴とする研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-075870
特開昭49-028989
特開平4-075870

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