特許
J-GLOBAL ID：200903081276032980
圧電素子ユニットの製造方法及び圧電ユニットを用いたインクジェットヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352506
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179906
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】 圧電材料の焼成時における該材料からの構成成分の蒸発を抑制し、圧電定数の大きい圧電体を低コストでしかも製造工程を低減して製造すること。【解決手段】 基体上に、上下電極に挟まれた圧電体を形成し、電極間への電界の印加により、電圧-機械変換効果によって基体の一部を変形させる機能を持つ圧電素子ユニットの製造方法であって、基体又は中間層上に配置された下部電極上に圧電材料(ペースト)をスクリーン印刷し、その後前記基体及び前記圧電材料を遮蔽体によって挟み込んだ状態で加熱・焼成することにより、加熱・焼成雰囲気中での圧電体の構成元素または分子の蒸気圧を高くし、それによって圧電体の構成成分の蒸発を抑制する。
請求項（抜粋）：
基体上に配置された下部電極上に圧電材料をスクリーン印刷し、その後前記圧電材料を加熱・焼成して圧電体を形成する際、前記圧電材料及び基体を遮蔽体によって挟み込むことにより、加熱・焼成雰囲気中での前記圧電材料の構成元素又は分子の蒸気圧を高くすることを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
