特許
J-GLOBAL ID：200903081276982929
自動焦点装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252055
公開番号（公開出願番号）：特開平5-088072
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 この発明は小型で応答性がよく、無地のワークであっても合焦点を検出しうる自動焦点装置を提供することを主要な特徴とする。【構成】 半導体レーザー21で発光されたレーザー光はレンズ22でコリメートされ、偏光ビームスプリッタ23からλ/4板24に入射され、円偏光とされ、ミラー25から対物レンズ2を介してワーク5に照射される。ワーク5で反射された光は対物レンズ2からミラー25,λ/4板24に入射され、紙面に対して平行な直線偏光となり、偏光ビームスプリッタ23を通過して集光レンズ26および半円柱レンズ27から4分割フォトディテクタ28に与えられ、焦点ずれが検出される。オートフオーカスコントローラ30はその焦点ずれに応じて、圧電素子13により、アクチュエータ10を対物レンズ2の光軸方向に微動させる。
請求項（抜粋）：
顕微鏡の対物レンズなどの高倍率レンズから対象物に光を照射し、その反射光に基いて前記高倍率レンズの焦点位置からのずれを検出し、そのずれを修正する自動焦点装置において、前記対物レンズに関連して設けられ、前記ずれの検出信号に応じて前記高倍率レンズの光軸方向に微動させる圧電素子を含むアクチュエータを備えたことを特徴とする、自動焦点装置。
IPC (2件)：
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