特許
J-GLOBAL ID：200903081283237554
X線投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237591
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094396
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 マスクのインコヒーレント照明が可能であり、そのため結像系の性能を最大限に発揮させることのできる照明光学系を有するX線投影露光装置を提供する。【構成】 少なくとも、X線源6と、該X線源6から発するX線をマスク9上に照射する照明光学系5と、前記マスク9上に形成されたパターンの像をウェファー11上に投影結像する投影光学系10と、からなるX線投影露光装置において前記照明光学系5を構成するミラーのうち、少なくとも一つのミラーが球面形状を有する基板面にX線反射多層膜を形成してなる球面ミラー1であって、該球面ミラー1への入射X線が略垂直に入射する位置に該球面ミラー1が設けられ、かつ、該球面ミラー1の集光点近傍に配置したマスク9上に集束する反射X線の発散角が前記投影光学系10の入射側開口数と略一致するような曲率半径及び外径を該球面ミラー1が有することを特徴とするX線投影露光装置。
請求項（抜粋）：
少なくとも、X線源と、該X線源から発するX線をマスク上に照射する照明光学系と、前記マスク上に形成されたパターンの像をウェファー上に投影結像する投影光学系と、からなるX線投影露光装置において、前記照明光学系を構成するミラーのうち、少なくとも一つのミラーが球面形状を有する基板面にX線反射多層膜を形成してなる球面ミラーであって、該球面ミラーへの入射X線が略垂直に入射する位置に該球面ミラーが設けられ、かつ該球面ミラーの集光点近傍に配置したマスク上に集束する反射X線の発散角が前記投影光学系の入射側開口数と略一致するような曲率半径及び外径を該球面ミラーが有することを特徴とするX線投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 503
