特許
J-GLOBAL ID：200903081288992059

ワイヤソー

発明者：
奥野 清人

奥野 清人 について


出願人/特許権者：
東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318406
公開番号（公開出願番号）：特開2000-117726
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：
【要約】【課題】 ワイヤの走行速度を高速にすることができ、結果的に切断効率が良く、しかも切断部の変質が少ないワイヤソーを提供することである。【解決手段】 複数のガイド溝を有するロール3、4、5を相平行するように配置し、各ロール3、4、5のガイド溝にワイヤ6を複数回周回させるように張設せしめ、スラリ供給ノズル管8、9から砥粒が加工油に混合されたスラリをロール3、4間に張設されたワイヤ群6に供給しながら該ワイヤ群6に被切断部材50を摺接させて該被切断部材50を切断するワイヤソーにおいて、ワイヤ6の走行速度を900m/min以上1400m/min以下にせしめると共に、砥粒の平均粒子径を4μm以上10μm以下にしてある。
請求項（抜粋）：
複数のガイド溝を有するロールを相平行するように複数本配置し、各ロールのガイド溝にワイヤを複数回周回させるように張設せしめ、砥粒を加工油に混ぜ合わせたスラリを掛けながら前記所定のロール間に張設されたワイヤ群に被切断部材をまたは被切断部材にワイヤ群を摺接させて該被切断部材を切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤの走行速度を900m/min以上1500m/min以下にせしめると共に、砥粒の平均粒子径を4μm以上10μm以下にせしめたことを特徴とするワイヤソー。
IPC (3件)：
B28D 1/22 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611
FI (3件)：
B28D 1/22 ,  B28D 5/04 D ,  H01L 21/304 611 W
Fターム (9件)：
3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB02 ,  3C069BB04 ,  3C069CA04 ,  3C069DA06 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02 ,  3C069EA05
引用特許：
審査官引用 (6件)
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