電気的消去可能型EPROMセルのアレイ消去方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浜田治雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-251591
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【構成】セル11は、ドレインD、ソースS、ゲート12およびフローティングゲート13から構成される。行選択ライン29,30,31により制御されるトランジスタ37により消去ノード36が列消去ライン26,27,28に接続される。列消去ラインは、アレイ10の列内の各セルの消去ノードに消去電位32を印加する。センスアンプSAは、各セルが導通し始めるのを検知すると共にトランジスタ33を開きそのセルを消去ラインから切り離す。特定の行を選択し、選択された消去ラインにのみプルアップインピーダンス35を介して消去電圧を印加する。【効果】過剰消去に対する感受性を低減または排除し、一度に1行のみの選択消去により、同じ列の既プログラムセルを乱すことを防止できる。

請求項（抜粋）：

フラッシュセルのアレイを消去すると共に前記セルによる導通開始時点で前記アレイ内の各セルの消去を停止するための装置において、前記セルの各々はゲートと、ソースと、ドレインと、前記セルを消去するために高電位差をかけて電荷が取り除かれるべきフローティングゲートとを有し、かつ前記フローティングゲートを横切って前記高電位を印加するための消去ノードと、並行な列に接続された前記セルと、各前記列内の全セルのソースは前記列に対するそれぞれのソースラインに共通に接続されると共に各前記列内の全セルのドレインは前記列に対するそれぞれのドレインラインに共通に接続され、前記セルはまた前記列に直交する並列な行に配置され、前記行の中の各行内の前記セルの前記ゲートは前記行の1つに対するそれぞれのゲートラインに接続され、接地電位の電源と、前記ソースラインの各々に接地電位を印加する手段と、前記ゲートの各々に接地電位を印加する手段と、正の高電位の電源と、前記それぞれの列の各セルの消去ノードを前記正の高電位の電源に接続するための、各々がそれぞれの列に結合された複数の列消去ラインと、前記それぞれの列のドレインラインとソースラインとの間の導通を検知するための、各々がそれぞれの列に結合された複数のセンスアンプ手段と、導通がない場合に前記正の高電位の電源に接続され、導通がある場合に前記正の高電位の電源から切り離されるそれぞれの列消去ラインの各々を、前記センスアンプ手段のそれぞれの出力に応答して前記正の高電位の電源に切換え可能に接続するための、各々がそれぞれの列に結合された複数のスイッチング手段と、前記セルの1つの消去ノードを前記それぞれの列消去ラインに選択的に接続するための、各々が前記セルの1つに結合された複数の選択手段と、および、前記それぞれの行の全セルの前記選択手段を作動させるための、各々がそれぞれの行に結合された複数の選択ラインとからなり、1つの行がそのそれぞれの選択ラインの断定により選択された場合、前記正の高電位により電子を、そのそれぞれのスイッチング手段がそのそれぞれの列消去ラインを前記正の高電位の電源に接続するよう切換えられて選択された前記行内の前記セルの各々のフローティングゲートから流し去り、そのため前記選択された行内の前記セルの各1つの前記フローティングゲートから充分な電子が取り除かれるので、前記セルの1つが導通し始め、前記セルの1つの列に結合された前記センスアンプの前記出力が変化すると共に、前記スイッチング手段は前記セルの1つに結合されたそれぞれの列消去ラインを前記正の高電位の電源から切り離し、前記フローティングゲートにかかる残りの電位は更に電子を取り除くには不十分であり、これにより前記選択された行の各セルの消去は前記セルによる導通開始時点で停止される、フラッシュセルのアレイを消去すると共に前記セルによる導通開始時点で前記アレイ内の各セルの消去を停止するための装置。

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