特許
J-GLOBAL ID：200903081293965965

露光装置

発明者：
谷口 哲夫

谷口 哲夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-305274
公開番号（公開出願番号）：特開2004-304145
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】 投影光学系における投影レンズの温度安定性を向上させることが可能な露光装置を提供する。【解決手段】 投影レンズを保持する鏡筒(5)を備えた投影光学系(PL)を有する露光装置(1)において、前記投影レンズの入射部及び射出部の少なくとも一方の温度を制御する第1の温調機構(13,14)を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
投影レンズを保持する鏡筒を備えた投影光学系を有する露光装置において、 前記投影レンズの入射部及び射出部の少なくとも一方の温度を制御する第1の温調機構を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G02B7/02 ,  G03F7/20
FI (3件)：
H01L21/30 516E ,  G02B7/02 F ,  G03F7/20 521
Fターム (9件)：
2H044AH04 ,  2H044AH05 ,  2H044AH06 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB26 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02
引用特許：
審査官引用 (14件)
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