特許
J-GLOBAL ID：200903081294864364
感光性塗布液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市之瀬 宮夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268486
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080500
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 製造時又は製造後における臭気及び毒性が極めて少なく、かつ塗布性に優れた感光性塗布液を提供すること。【構成】 少なくともエチル3-エトキシプロピオネートを含有する感光性塗布液組成物。
請求項（抜粋）：
少なくともエチル3-エトキシプロピオネートを含有する感光性塗布液組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/16
