特許
J-GLOBAL ID:200903081312963871

モニタード・バーイン装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-022526
公開番号(公開出願番号):特開平7-005226
出願日: 1991年02月18日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【構成】被エージングIC集合体1の各ICの動作状態を監視するモニター部3aから出力される不良発生数を所定の経過時間毎に累積不良数を計数する累積不良数計数部1と、この累積不良数計数部1からの順次送られる経過時間における累積不良率を算出するとともに経過時間より前の経過時間に対する累積不良率の増加率を出力する累積不良率算出部5と、設定される累積不良率の増加率と累積不良率算出部5からの増加率とを比較して駆動部2の電源の供給及び動作信号の発生を停止している。【効果】あらかじめ設定時間を決めるICのデータを必要とすることなくエージング時間を自動的に設定出来る。
請求項(抜粋):
複数のICをエージングをし、ICの良否を判定するモニタード・バーイン装置において、エージングの所定の経過時間に伴ない前記1Cの累積不良数を計数する累積不良数計数部と、この累積不良数計数部からの順次送られる前記経過時間における累積不良率を算出するとともに前記経過時間より前の経過時間に対する累積不良率の増加率を出力する累積不良率算出部とを備え、この累積不良率算出部からの前記累積不良率の増加率が所定の増加率を含め、より小さい値のときエージングを終了することを特徴とするモニタード・バーイン装置。
IPC (2件):
G01R 31/26 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平2-090076

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