特許

J-GLOBAL ID：200903081323618580

スパッタ装置およびそれを用いた有機EL素子パネルの製造方法並びに有機EL素子

発明者： 小倉 隆
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215539
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031363
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】 有機層上にダメージを与えることなくスパッタ法で電極を形成する。【解決手段】 基板を支持する基板ホルダーと、支持された基板に対向してターゲットを支持するターゲットホルダーと、基板ホルダーとターゲットホルダーとの間に設けられたマスクとを備え、マスクはターゲットホルダー側に設けられた複数の第1開口と、基板ホルダー側に設けられた複数の第2開口と、第1開口と第2開口とを各々連通する複数の通路とを有し、各通路は第1開口から第2開口が見通せないないように屈曲してなる。

請求項（抜粋）：

基板を支持する基板ホルダーと、支持された基板に対向してターゲットを支持するターゲットホルダーと、基板ホルダーとターゲットホルダーとの間に設けられたマスクとを備え、マスクはターゲットホルダー側に設けられた複数の第1開口と、基板ホルダー側に設けられた複数の第2開口と、第1開口と第2開口とを各々連通する複数の通路とを有し、各通路は第1開口から第2開口が見通せないないように屈曲してなるスパッタ装置。

IPC (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/34 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/28

FI (8件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/34 S ,  C23C 14/34 T ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/28

Fターム (40件)：

3K007AB02 ,  3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB01 ,  3K007CB03 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC09 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029HA01 ,  5C094AA10 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5G435AA03 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH02 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10