特許
J-GLOBAL ID:200903081324412161

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-200271
公開番号(公開出願番号):特開2003-015291
出願日: 2001年07月02日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 プリント配線板の製造や金属の精密加工等に用いられるエッチングやめっき用のレジストとして、優れた感度、解像性を有し、かつ優れた指触乾燥性、剥離性、耐めっき液汚染性を合わせ持つ感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 本発明によれば、弱アルカリ液により現像可能な感光性性樹脂組成物が提供され、その基本的な形態は、(A)(a)カルボキシル基含有(メタ)アクリル系共重合樹脂と(b)脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤を必須成分として含有する感光性樹脂組成物であって、前記光重合開始剤成分(B)として、下記一般式で示される化合物(B1)を(A)成分100質量部に対して0.1〜3質量部、及びヘキサアリルビイミダゾール(B2)を(A)成分100質量部に対して0.1〜2質量部含有することを特徴としている。【化3】ここで、式中のRは、水素、フェニル基、アルキル基又はアルコキシ基である。
請求項(抜粋):
(A)(a)カルボキシル基含有(メタ)アクリル系共重合樹脂と(b)脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤を必須成分として含有する感光性樹脂組成物であって、前記光重合開始剤成分(B)として、下記一般式で示される化合物(B1)を(A)成分100質量部に対して0.1〜3質量部、及びヘキサアリルビイミダゾール(B2)を(A)成分100質量部に対して0.1〜2質量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、式中のRは、水素、フェニル基、アルキル基又はアルコキシ基である。
IPC (7件):
G03F 7/038 501 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 515 ,  H05K 3/00
FI (7件):
G03F 7/038 501 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/12 ,  C08F299/00 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/027 515 ,  H05K 3/00 F
Fターム (51件):
2H025AA01 ,  2H025AA09 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC86 ,  2H025CA28 ,  2H025CC11 ,  2H025CC20 ,  2H025FA07 ,  2H025FA17 ,  2H025FA44 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA34 ,  4J011QA39 ,  4J011QB03 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AA02 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA21 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CC07 ,  4J027CD06 ,  4J027CD10

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