特許

J-GLOBAL ID：200903081331921748

Fe系非磁性合金膜を下地膜に用いたスピンバルブセンサ

発明者： 添谷 進 ,  荒井 礼子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-172065
公開番号（公開出願番号）：特開平10-021512
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】体心立方格子の結晶構造を有する反強磁性CrMnMx 膜を用いた二重スピンバルブセンサを提供する。【解決手段】二重スピンバルブセンサ層を、体心立方格子を有するFe系非磁性合金膜10上に、反強磁性CrMnMx 膜11,強磁性膜12,非磁性膜13,強磁性膜14,非磁性膜15,強磁性膜16,反強磁性CrMnMx 膜17を順次積層する。

請求項（抜粋）：

第一の反強磁性膜,第一の強磁性膜,第一の非磁性膜,第二の強磁性膜,第二の非磁性膜,第三の強磁性膜,第二の反強磁性膜を順次積層した二重スピンバルブセンサ層をセンサ中央活性領域にのみ形成し、前記中央活性領域両端部に前記二重スピンバルブセンサ層と電気的連続性を保ちながら隣接接合して形成した一対の磁区制御層と信号検出電極とを含む磁気抵抗センサにおいて、前記二重スピンバルブセンサ層の下側に、体心立方格子の結晶構造を有するFe系非磁性合金膜を設けることを特徴とする磁気抵抗センサ。