特許
J-GLOBAL ID:200903081337258820

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤本 博光 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-190155
公開番号(公開出願番号):特開平6-011830
出願日: 1992年06月25日
公開日(公表日): 1994年01月21日
要約:
【要約】【目的】 感光性樹脂組成物として感光基の入手と導入容易、保存、安定性、耐熱安定性、実用物性および感度良好、現像時のクラックのないものを提供する。【構成】 ポリイミド100、(メタ)アクリル基含有イソシアヌレート10〜100、ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート10〜100および光重合開始剤0.5〜20各重量部からなる感光性樹脂組成物。【効果】 製造が容易で、厚膜フィルムに対しても十分な実用感度を保有し、膜厚の経時変動、感度変化が少ない感光性樹脂組成物が提供される。
請求項(抜粋):
(1)ポリイミド100重量部に対して、(2)(メタ)アクリル基含有イソシアヌレート10〜100重量部、(3)ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート10〜100重量部、及び(4)光重合開始剤0.5〜20重量部を必須成分として含有せしめた感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/037 ,  C08F 2/50 MDK ,  C08F220/20 MMV ,  C08F220/38 MMW ,  C08F299/02 MRS ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 501
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-000639
  • 特開平2-000870

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