特許

J-GLOBAL ID：200903081338096319

電子ビーム露光装置

発明者： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  阿部 智彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198615
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045239
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明はブランキングアパーチャアレイ方式の電子ビーム露光装置に関し、露光の均一化及び高スループットの維持を実現することを目的とする。【構成】 電子銃101は、カソード部に、LaB6 の単結晶の針状チップ102を有する。針状チップ102は、楔形状の先端を有する。先端は、共に〈100〉面である斜面103,104と、稜線105よりなる。稜線105を、ブランキングアパーチャアレイ3の偏向直交方向Xと一致させて構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを放射する電子銃(2,101)と、夫々電極を有し、二次元的に配された複数のブランキングアパーチャ(21)を有し、上記電子銃からの上記電子ビームを照射され、これを、各ブランキングアパーチャアレイを通過した複数の通過電子ビームに整形するブランキングアパーチャアレイ(3)と、該ブランキングアパーチャアレイを通過した上記通過電子ビームを規則的に偏向させる偏向手段(34,5)と、上記ブランキングアパーチャを通過した通過電子ビームのうち被露光体にまで到達してこれを照射する照射電子ビームを特定する照射電子ビーム特定手段(31,8)とよりなり、上記偏向の過程で、上記照射電子ビーム特定手段が逐次電子ビームを特定し、上記被露光体上の露光すべき特定の部位を、該照射電子ビームの特定手段によって特定された照射電子ビームによって複数回重ね打ちして露光する電子ビーム露光装置であって、上記電子銃を、先端が、一対の斜面(103,104)を有し、先端に稜線(105)を有する楔形状を有し、且つ、上記斜面が共に〈100〉面である希土類化合物結晶製の針状チップ(102)を有し、且つ、該電子銃を、該針状チップの稜線(105)が、上記ブランキングアパーチャアレイ(3)の偏向直交方向(X)に対応する向きに設定した構成としたことを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/305